Plasmaanlage Typ Tetra 30 1.2 FULL PC Steuerung (Windows 10 IoT) im Grundgerät Typ C (ca. B 600 mm x T 800 mm x H 1.700 mm) 2.2 Gaszufuhr / Gaskanal Typ B (3 Stk. MFCs, Korrosivgasversion) 2.x Belüftung / Spülung mit Stickstoff 3.1 Piranisensor + PENNING VAC PTR90 (Anzeige des Drucks in der Vakuumkammer) 4.1 Anschlüsse Plasmaanlage TETRA 30 (400 V / 16 A) [5.4] Vakuumkammer / Rezipient Typ D (rechteckig, Aluminium, Tür mit Scharnier, B: 305 mm x T: 370 mm x H 300 mm; inkl. diverse Flansche) 6.6 Warenträger Typ F (Aluminium) 7.3 RIE-Elektrode Typ C inkl. Gasdusche (Edelstahl/Aluminium) 7.x Sputterquelle 6 (Fa. Lesker) 8.x1 Generator Typ X (13.56 MHz, 0-600 W, automatische Matching) 8.x2 Generator kann gepulst werden 10.1 Korrosivgasausführung 10.2 Beheizbare Kammer 10.5 Monomerflasche 100 ml 10.11 Sicherheitsventil für H2 10.19 Aktivkohlefilter KF40 10.21 Gaswarngerät